亚微米级定位电动悬臂吊，运用激光干涉仪反馈系统，定位精度达到 ±0.1μm，满足超精密加工需求
数字化、智能化气动元件发展趋势（集成传感器、通讯接口）
陶瓷球混合轴承单元，提高转速性能，延长润滑寿命，电绝缘
